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        刃口測量儀技術參數

        更新時間:2019-03-21       點擊次數:1591

        小測量半徑:2µm

        小測量楔角:20°

        小測量粗糙度(Ra):80nm

        小測量粗糙度(Sa):50nm

        大掃描高度:25mm

        大操作距離:17.5(5×物鏡)

        大擴展視野范圍:2500mm2

        垂直分辨率:20nm

        大單一方向測量范圍:50mm

        位移范圍(X/Y):50mm×50mm(自動調節)

        位移范圍(Z):130mm(26mm自動調節)

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