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        3D形貌儀的成像散光問題概述

        更新時間:2021-08-23       點擊次數:1377
           3D形貌儀已被用于實驗室、大學和行業使用,組合多種成像模式,能夠在同一測試平臺上運行多種測試,只需單擊按鈕,就能轉換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優勢,并且各項技術彼此互補。該項整合技術不僅有利于數據的綜合分析,也可以減少維護成本,從而提高效率。
          3D形貌儀利用白光干涉掃描技術為基礎研制而成,它可以達到納米級的檢測精度,并可快速獲取被測工件表面三維形貌和數據進行檢測,其主要用途是用于成品的質量管理,確保良品合格率??蓮V泛用于各類精密工件表面質量要求高的如:半導體、微機電、納米材料、生物醫療、精密涂層、科研院所、航空航天等領域??梢哉f只要是微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量,除了3D形貌儀,沒有其它的儀器設備可以達到其精度要求。
          成像散光問題一直影響3D形貌儀測量準確度的因素之一,這種現象如何進行處理呢?
          實際操作中啟動開關電源后,如果大屏幕上沒有聚焦,分辨率較低,我們稱之為“散光問題”。此時,無論如何更新物鏡,或者改變測量角度,大屏幕上的畫面還是一樣的。一開始這種情況,很多人都不明白,以為鏡頭上有污垢造成的。
          對于以上問題先確認一下是否是形貌儀的散光問題導致的。如果確定是散光故障則很有可能是LED不聚光方式引起的,更換LED后重啟工作電源可以查看相關問題還是否存在,一般情況都差不多是這個原因。
          其次拆開鏡框,看看玻璃鏡面是否平整。如果是均勻的,不會造成散光,但是不均勻會導致散光。
          通過上述兩種方法,一般可解決好儀器的散光問題。

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